工業高溫探頭在需要高分辨率測量的各種應用場景中發揮著重要的作用，這種重要性往往是不可替代的。然而在實際應用中，客觀環境常常是不可控的，在超高溫度下普通的電容式探頭無法正常工作。
工業高溫探頭在更高的溫度，由于熱膨脹導致的內部脫粘，它們會遭受長久性損傷。如果被檢材高于60℃，那么須應用高溫探頭。溫度對探頭晶片壓電效應也有很大影響，溫度升高時壓電效應減弱，當達到某一溫度即居里溫度時，壓電效應*消失，高溫對探頭晶片和制作工藝有更高的要求。
探頭中的壓電晶片需選用居里溫度較高的鈮酸鋰(1200℃)、石英(550℃)、鈦酸鉛(460℃)來制作，外殼與阻尼塊為不銹鋼，電纜為無機物絕緣體高溫同軸電纜，前面殼體與晶片之間采用特殊釬焊使之形成高溫耦合層。這種探頭可在400~700℃高溫下進行探傷。
工業高溫探頭的特點是：
⑴、使用進口焊接式氧化鋯傳感器，具有良好的密性。熱震性和機械性能。
⑵、由于使用溫度高，外面的保護管使用剛玉管（一般氧探頭使用高溫合金管）。
⑶、內外電極采用比較粗的鉑金絲來代替鎳洛合金絲和管。所以生產成本比較高。
⑷、一般氧探頭由于合金管的熱脹冷縮，為了保證傳感器的良好電氣接觸性，傳感器在彈簧的推力下，可作數毫米的移動，移動間隙可用真空脂或硅橡膠圈密封。在一般滲碳爐中*可以實現密封。而在真空爐中則會發生嚴重滲漏。是氣密的，又可以在1200℃以上的溫度中使用，可以適用于真空爐。
